系列渦旋干式真空泵
泵內(nèi)無油，可獲得清潔的真空環(huán)境；低噪音；無需水冷，耐腐蝕；操作簡便，維護費用低廉。
薄膜制備設(shè)備、大科學(xué)工程與化學(xué)分析；
半導(dǎo)體封裝設(shè)備等無油抽氣系統(tǒng)的配泵；
分子泵的前級泵；
醫(yī)療儀器、生物制品與藥品制備；
食品、藥品等包裝設(shè)備；
特氣回收、液晶注入。
