羅茨干式真空泵機(jī)組 (JGH系列) 產(chǎn)品特點(diǎn)是無油，可獲得清潔的真空環(huán)境，可在多粉塵、強(qiáng)腐蝕工藝環(huán)境下使用，自動(dòng)控制系統(tǒng)模塊化，具備遠(yuǎn)程控制接口，零維護(hù)、可靠性高、能耗低。
羅茨干式真空泵機(jī)組（JGH系列）
產(chǎn)品說明羅茨干式真空泵機(jī)組 (JGH系列) 產(chǎn)品特點(diǎn)是無油，可獲得清潔的真空環(huán)境，可在多粉塵、強(qiáng)腐蝕工藝環(huán)境下使用，自動(dòng)控制系統(tǒng)模塊化，具備遠(yuǎn)程控制接口，零維護(hù)、可靠性高、能耗低。
重點(diǎn)應(yīng)用：集成電路、太陽(yáng)能電池、LED領(lǐng)域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。
其他應(yīng)用：
真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；
真空鍍膜系統(tǒng)（玻璃鍍膜、精密光學(xué)等）；
真空包裝、食品、化工、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)蒸餾、蒸發(fā)、干燥等。
