JGM、JGH系列多級(jí)干式真空泵，結(jié)合羅茨與爪型轉(zhuǎn)子吸氣原理，通過多級(jí)轉(zhuǎn)子的優(yōu)化組合，最大限度利用了多級(jí)羅茨干泵與爪型干式真空泵的優(yōu)勢(shì)，從而在較寬的壓力范圍內(nèi)獲得較大的實(shí)際抽速，高效地實(shí)現(xiàn)了潔凈真空環(huán)境的獲得。
羅茨干式真空泵機(jī)組(JGM系列)
產(chǎn)品說明JGM、JGH系列多級(jí)干式真空泵，結(jié)合羅茨與爪型轉(zhuǎn)子吸氣原理，通過多級(jí)轉(zhuǎn)子的優(yōu)化組合，最大限度利用了多級(jí)羅茨干泵與爪型干式真空泵的優(yōu)勢(shì)，從而在較寬的壓力范圍內(nèi)獲得較大的實(shí)際抽速，高效地實(shí)現(xiàn)了潔凈真空環(huán)境的獲得。
重點(diǎn)應(yīng)用：
集成電路、太陽能電池、LED領(lǐng)域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。
其他應(yīng)用：
真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；
真空鍍膜系統(tǒng)（玻璃鍍膜、精密光學(xué)等）；
真空包裝、食品、化工、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)蒸餾、蒸發(fā)、干燥等。
