EBARA維修為上凱儀主要維修品牌，具有強大的維修能力。并具有全系列維修能力，從最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。從2003年開始就致力于配合各客戶維修EBARA系列PUMP。主要客戶為國內(nèi)各半導(dǎo)體，光電等主要客戶：臺積電（TSMC-10);華虹宏力（HHNEC);華潤上華（CSMC);杭州士蘭（SL);業(yè)成光電等…從2007年開始每年維修量呈遞增趨勢。從年維修量80臺至2014年年維修量突破400臺
A系列
產(chǎn)品說明EBARA維修為上凱儀主要維修品牌，具有強大的維修能力。并具有全系列維修能力，從最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。從2003年開始就致力于配合各客戶維修EBARA系列PUMP。主要客戶為國內(nèi)各半導(dǎo)體，光電等主要客戶：臺積電（TSMC-10);華虹宏力（HHNEC);華潤上華（CSMC);杭州士蘭（SL);業(yè)成光電等…從2007年開始每年維修量呈遞增趨勢。從年維修量80臺至2014年年維修量突破400臺